Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Чехович, Евгений Казимирович

Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е.К. Чехович ; Отв. ред. В.А. Пилипович ; АН БССР. Ин-т электроники. - Минск : Наука и техника, 1989. - 212,[1] с. ; 20 см.

Библиогр.: с. 200-211 (267 назв.)

ISBN: 5-343-00087-8

Subjects--Topical Terms:
ЭВМ вообще