Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Афанасьев, Станислав Михайлович

Разработка рентгеновских методов скользящей брэгг-лауэ дифрактометрии для диагностики материалов микроэлектроники : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 / МИЭТ. - Москва, 1990. - 18 с.

Науч. рук.

Subjects--Topical Terms:
Технология полупроводников и материалов

Index Terms--Genre/Form:
Thesis