Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Хохлов, Михаил Валентинович

Иследование и разработка основных технологических процессов создания трехмерных интегральных схем на основе пленок рекристаллизованного кремния : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 / МИЭТ. - Москва, 1988. - 20 с.

Науч. рук. М.А. Королев

Subjects--Topical Terms:
Твердотельная электроника и микроэлектроника

Index Terms--Genre/Form:
Thesis