Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Смолин, Валентин Константинович

Исследование и разработка технологических процессов формирования и контроля тонкопленочных элементов микросборок повышенной мощности : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.05 / ЛПИ. - Львов, 1991. - 17 с.

Науч. рук. В.А. Коваль

Subjects--Topical Terms:
Интегральные радиоэлектронные устройства

Index Terms--Genre/Form:
Thesis