Ростовые фазовые политипные превращения при эпитаксии карбида кремния и нитрида алюминия : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10 /
Ростовые фазовые политипные превращения при эпитаксии карбида кремния и нитрида алюминия : Автореф. дис. ... канд. техн. наук : 01.04.10 /
Лен. электроотехн. институт.
- Ленинград , 1989.
- 16 с.