Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов /
Файнштейн, Семен Меерович
Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / С.М. Файнштейн. - 3-е изд., перераб. - Москва : Энергия, 1970. - 296 с.
Полупроводниковые приборы
Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов / С.М. Файнштейн. - 3-е изд., перераб. - Москва : Энергия, 1970. - 296 с.
Полупроводниковые приборы