Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Симонов, Владимир Валентинович

Оборудование ионной имплантации / В.В. Симонов, Л.А. Корнилов, А.В. Шашелев, Е.В. Шокин. - Москва : Радио и связь, 1988. - 182,[1] с. ; 22 см.

Библиогр.: с. 170-181 (69 назв.)

ISBN: 5-256-00007-1

Subjects--Topical Terms:
Ионное легирование - Установки