Автоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры :
Вершинин, Олег Емельянович
Автоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры : Учебное пособие / О. Е. Вершинин. - Ленинград : Б. и., 1978. - 77 с.
Библиогр.: с. 76
Автоматизация производственных процессов - Учебники
Автоматизация технологических процессов производства микроэлектронной аппаратуры : Учебное пособие / О. Е. Вершинин. - Ленинград : Б. и., 1978. - 77 с.
Библиогр.: с. 76
Автоматизация производственных процессов - Учебники