Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Ильин, Г.Д.

Напыление диэлектрических и проводящих покрытий в низкотемпературной плазме / Г.Д. Ильин; ИТМ и ВТ АН СССР. - Москва : ИТМ и ВТ АН СССР, 1972. - 66 с. : рис.

Библиогр.: с. 63 - 65 (24 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Технология механообработки в целом

Subjects--Index Terms: электровакуумные приборы