Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Гаштольд, Владимир Николаевич.

Развитие метода катодного распыления / В.Н. Гаштольд; М-во электронной пром-сти СССР. - Москва : Ин-т "Электроника", 1970. - 44 с. : рис. - Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника Вып. 2(179) .

Библиогр.: с. 37 - 43 (150 назв.)

Subjects--Topical Terms:
Технология механообработки в целом

Subjects--Index Terms: двухэлектронное распыление