Նորմալ դիտում MARC դիտում ISBD Դիտում

Тихонов, Юрий Николаевич

Физико-химические основы полупроводникового и микроэлектронного производства : Учебное пособие / Тихонов Ю.Н.; Моск. ин-т радиотехники, электроники и автоматики. - Москва : Б. и., 1977. - 116 с. : ил.

Библиогр.: с. 116

Subjects--Index Terms: Полупроводники - Производство Микроэлектронные схемы - Производство