Технология изготовления микросхем :
Полянский, А.М.
Технология изготовления микросхем : Учебное пособие / А.М. Полянский ; Новосиб. гос. ун-т. Новосиб. электротехн. ин-т. - Новосибирск : [Б. и.] , 1976. - 83 с. : ил.
Технология изготовления микросхем
Технология изготовления микросхем : Учебное пособие / А.М. Полянский ; Новосиб. гос. ун-т. Новосиб. электротехн. ин-т. - Новосибирск : [Б. и.] , 1976. - 83 с. : ил.
Технология изготовления микросхем